技術(shù)編號：7146159
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種裝載半導(dǎo)體晶片、平板顯示器用玻璃基板和其他的基板進(jìn)行搬送時，檢測該基板的搬送狀態(tài)的。背景技術(shù)對半導(dǎo)體晶片等的基板進(jìn)行處理的裝置(基板處理裝置)中，存在將保管在基板待機(jī)部的基板搬送到基板處理部的裝置。作為將基板搬送到基板處理部的方法，存在將基板(被搬送部件)裝載于搬送臂(被驅(qū)動單元)，并由電機(jī)等(驅(qū)動單元)的驅(qū)動力使該搬送臂移動，從而將基板搬送到所希望的位置的方法。例如由電機(jī)、傳動輪(pulley、傳動帶輪)和傳動帶(belt、皮帶)等構(gòu)成垂直...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。