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基板處理方法以及基板處理裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7148401

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本發(fā)明涉及處理基板的基板處理方法以及基板處理裝置。作為處理對(duì)象的基板例如包括半導(dǎo)體晶片、液晶顯示裝置用基板、等離子顯示器用基板、FED (Field EmissionDisplay場(chǎng)致發(fā)射顯示器)用基板、光盤(pán)用基板、磁盤(pán)用基板、光磁盤(pán)用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太陽(yáng)能電池用基板等。背景技術(shù)在半導(dǎo)體裝置和液晶顯示裝置的制造工序中,通過(guò)向半導(dǎo)體晶片、液晶顯示裝置用玻璃基板等基板供給氫氟酸,進(jìn)行從基板除去不需要的膜的蝕刻工序或從基板除去顆粒的清洗工序。例如,...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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