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局部氧化抬升外基區(qū)全自對(duì)準(zhǔn)雙極晶體管及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7148470

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本發(fā)明涉及一種。背景技術(shù)雙極晶體管的基極電阻Rb和集電極-基極電容CB。一直是制約器件高頻性能進(jìn)一步提高的主要寄生參數(shù),其對(duì)器件高頻性能指標(biāo)的影響可用如下簡(jiǎn)化的表達(dá)式描述。fmax =J~~其中,fT和fmax分別表示器件的截止頻率和最高振蕩頻率。 此外,Rb還是雙極晶體管熱噪聲的主要來(lái)源。因此,為了提高器件的高頻性能和改善器件的噪聲性能,減小Rb和CB。一直是雙極晶體管器件與工藝優(yōu)化的重要任務(wù)。采用單晶發(fā)射區(qū)-外基區(qū)自對(duì)準(zhǔn)結(jié)構(gòu),即保證器件重?fù)诫s外基區(qū)與單...
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