技術(shù)編號：7148970
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及的是一種贗配高電子遷移率晶體管，具體地說是一種砷化鎵銦/砷化鎵鋁/砷化鎵贗配高電子遷移率晶體管，本發(fā)明同時公開了其制造方法。背景技術(shù)隨著科技的發(fā)展，各種微波應用系統(tǒng)迫切需要適用于高頻率特性的電子器件，基于化合物半導體的電子器件在微波系統(tǒng)中發(fā)揮著不可替代的作用。通過人們的不斷努力，基于化合物半導體的電子器件的應用從較低頻如S、X、Ku波段逐漸延伸至8mm甚至3mm波段。使用頻率逐漸提升的過程中，器件也要不斷的優(yōu)化調(diào)整，最常用的手段是柵結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，以...
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