技術(shù)編號：7148995
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計領(lǐng)域，尤其涉及用于半導(dǎo)體集成制造生產(chǎn)線中的動態(tài)隔離模塊。背景技術(shù)由于半導(dǎo)體集成制造的過程中需要由多個工藝分步完成，如清洗處理、干燥處理、隔離處理、PVD鍍膜等等，且每一工藝步驟均需要在密閉的環(huán)境下進(jìn)行，對此現(xiàn)有技術(shù)中通常采用集成密封制造系統(tǒng)，使每一步工藝在同一密閉的環(huán)境下進(jìn)行。在整個半導(dǎo)體集成制造過程中，隔離處理一般在干燥處理和PVD鍍膜之間，在PVD鍍膜時，要求在一定的真空環(huán)境下進(jìn)行，因此在隔離處理時必需將經(jīng)干燥處理后半導(dǎo)體...
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