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一種高耐壓肖特基芯片的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7149194

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一種高耐壓肖特基芯片,屬于半導(dǎo)體器件制造。具體涉及一種高耐壓Schottky N通道肖特基芯片。背景技術(shù)傳統(tǒng)肖特基芯片,多晶硅外部的溝槽氧化硅層的厚度一致,如圖2所示,在溝槽底部彎角的地方容易發(fā)生電力擊穿,所以肖特基芯片反向耐壓較低,不能滿足高耐壓或降低正向壓降的要求。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種可以提高肖特基芯 片反向耐壓或降低正向壓降的高耐壓肖特基芯片。本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是該一種高耐壓肖特基芯片,包括頂...
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