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技術(shù)編號：7156020

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制造，更具體地說，涉及一種OTP器件及其制造方法。背景技術(shù)OTP (One Time Programmable,—次性可編程)器件是一種存儲器件,它是相對于多次性編程而言的，其編程過程是不可逆的活動，它適合程序固定不變的應(yīng)用場合，因為成本較低而得到廣泛的應(yīng)用。衡量OTP器件可靠性的關(guān)鍵參數(shù)之一是OTP器件的數(shù)據(jù)保持力(dataretention) 0當對OTP器件進行編程后，所編程的數(shù)據(jù)(具體為電荷)被保存在OTP器件 的存儲單元(具體...
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