技術(shù)編號:7156192
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及對基板實(shí)施等離子體處理的感應(yīng)耦合型的等離子體處理裝置。 背景技術(shù)在半導(dǎo)體設(shè)備和以液晶顯示裝置(LCD)為代表的FPD(Flat Panel Display 平板顯示器)的制造工序中,已知有對以玻璃基板為代表的各種基板實(shí)施等離子體處理的等離子體處理裝置。等離子體處理裝置由等離子體的生成方法的不同,可大致分為電容耦合型等離子體處理裝置和感應(yīng)耦合型等離子體處理裝置。感應(yīng)耦合型等離子體處理裝置(以下稱為“ICP處理裝置”。),經(jīng)由設(shè)置在處理室 (腔室)的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。