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技術(shù)編號：71563

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種方法和設(shè)備，用于干燥晶片，此晶片用以制作半導(dǎo)體裝置和采用微型機電系統(tǒng)(MEMS)的裝置，而更為具體地說，涉及一種用于利用離心力干燥一晶片的防吸附方法和設(shè)備。 背景技術(shù)在采用微型機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的各種RF裝置中最為廣泛應(yīng)用的射頻(RF)裝置是一種RF開關(guān)。這種采用MEMS技術(shù)的RF開關(guān)一般用以分揀采用微波或毫米波的無線通訊系統(tǒng)中的信號，而特別是，信號發(fā)送或阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)中的信號。 一允許切換的微型結(jié)構(gòu)嵌置在一RF開關(guān)之中。一除去一犧牲層和把疊置在犧牲層上的微型結(jié)構(gòu)浮置在一基底上的去除過...
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