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一種基于齊納二極管的瞬態(tài)電壓抑制器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7157435

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本發(fā)明屬于集成電路靜電防護(hù),具體涉及一種基于齊納二極管的瞬態(tài)電壓抑制器。背景技術(shù)隨著電子信息技術(shù)的迅速發(fā)展,當(dāng)前半導(dǎo)體器件日益趨向小型化、高密度和多功能化,特別是像時(shí)尚消費(fèi)電子和便攜式產(chǎn)品等對(duì)主板面積要求比較嚴(yán)格的應(yīng)用,很容易受到靜電釋放(ESD)的影響。靜電是時(shí)時(shí)刻刻到處存在的,在60年代,隨著對(duì)靜電非常敏感的MOS器件的出現(xiàn),靜電問(wèn)題也出現(xiàn)了,到70年代靜電問(wèn)題越來(lái)越來(lái)嚴(yán)重,80-90年代,隨著集成電路的密度越來(lái)越大,一方面其二氧化硅膜的厚度越來(lái)越薄(...
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