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降低半導體芯片漏電流的方法技術資料下載

技術編號:7158316

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本發(fā)明涉及一種半導體工藝,且尤其涉及一種。 背景技術芯片生產(chǎn)過程中,難免會引入一些雜質離子,雜質離子的存在會導致漏電流的明顯增大。在芯片流片之后,需要測試芯片的靜態(tài)漏電流的設計是否達標,如果芯片的靜態(tài)電流過大,比如應用到手機、筆記本電腦等需要電池供電的芯片會嚴重的影響待機時間,使芯片的在市場競爭處于不利地位,所以靜態(tài)功耗需要慎重考慮。漏電流是PN結在截止時流過的很微小的電流,漏電流對于電路有如下具體四種危害第一,漏電流過大,表明芯片的PN 結時刻有較大電流...
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