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用于p型氮化物發(fā)光裝置的超薄歐姆接觸及其形成方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7159556

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置,更具體地涉及具有形成于III族氮化物基外延層上的歐姆接觸的發(fā)光裝置。背景技術(shù)發(fā)光二極管和激光二極管是公知的能夠在施加足夠電壓時(shí)產(chǎn)生光的固態(tài)電子裝置。發(fā)光二極管和激光二極管通常稱(chēng)為發(fā)光裝置(LED)。發(fā)光裝置通常包括形成于外延層內(nèi)的p-n結(jié),該外延層生長(zhǎng)在例如藍(lán)寶石、硅、碳化硅、砷化鎵等襯底上。由該LED產(chǎn)生的光的波長(zhǎng)分布取決于形成P-n結(jié)的材料以及包含該裝置的有源區(qū)的薄外延層的結(jié)構(gòu)。通常,LED包含η型襯底、形成于該襯底上的η型外延區(qū)...
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