技術(shù)編號：7159602
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種制造半導(dǎo)體器件的方法；而且尤其是一種形成量子點的方法。背景技術(shù) 根據(jù)因半導(dǎo)體器件集成度的進步所造成的電流大小降低的趨勢，存在于溝道區(qū)中的電子總數(shù)也會減少幾十個電子。當用于驅(qū)動半導(dǎo)體器件所需的電子數(shù)減少時，在那些用以驅(qū)動半導(dǎo)體器件的電子當中，對應(yīng)統(tǒng)計上的錯誤的電子百分比反而會增加。此增加的電子百分比會嚴重影響半導(dǎo)體器件的可靠度。因此，明顯需要發(fā)展一種能夠精確控制單一電子的新結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體器件。最近提出的用以克服上述限制的單電子晶體管能夠控制單一電子...
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