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減小了疊加失準(zhǔn)的直接接合方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7159843

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本發(fā)明涉及根據(jù)三維(3D)整合技術(shù)所制造的多層半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)或者晶圓的領(lǐng)域, 其中,3D整合技術(shù)用于將由第二晶圓形成的至少一層轉(zhuǎn)印至被稱(chēng)為最終基板的第一晶圓上,該層對(duì)應(yīng)于第二晶圓的形成有元件(例如,多個(gè)微組件)的部分,第一晶圓可以是原始晶圓,或者可以包括其它對(duì)應(yīng)的元件?,F(xiàn)有技術(shù)具體來(lái)講,因?yàn)樵诮o定的層上存在尺寸非常小的大量微組件,所以每個(gè)轉(zhuǎn)印的層 (即,包括該層的各個(gè)晶圓)必須以正確的精度置于最終基板(僅第一晶圓或者已經(jīng)具有其它轉(zhuǎn)印的層)上,以滿足與下部層的大...
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