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用于相變存儲(chǔ)器的相變材料的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7161606

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造材料領(lǐng)域,特別是涉及用于制造電阻轉(zhuǎn)換相變存儲(chǔ)器的存儲(chǔ)介質(zhì)材料。背景技術(shù)存儲(chǔ)器是目前半導(dǎo)體市場(chǎng)的重要組成部分,是信息技術(shù)的基石,無(wú)論在生活中還是在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中發(fā)揮著重要的作用。目前,存儲(chǔ)器的存儲(chǔ)產(chǎn)品主要有閃存,磁盤、動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器,靜態(tài)存儲(chǔ)器等。其他非易失性技術(shù)鐵電體RAM、磁性RAM、碳納米管RAM、電阻式RAM、銅RAM (Copper Bridge)、全息存儲(chǔ)、單電子存儲(chǔ)、分子存儲(chǔ)、聚合物存儲(chǔ)、賽道存儲(chǔ)(RacetrackMemory)、...
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