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半導(dǎo)體處理裝置及處理流體收集方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7163623

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓或相似工件的表面處理領(lǐng)域,特別涉及一種用于化學(xué)處理半導(dǎo)體晶圓表面,以及清潔、蝕刻和其它處理的裝置以及基于該裝置的處理流體收集方法。背景技術(shù)晶圓是生產(chǎn)集成電路所用的載體。在實(shí)際生產(chǎn)中需要制備的晶圓具有平整、超清潔的表面,而用于制備超清潔晶圓表面的現(xiàn)有方法可分為兩種類別諸如浸沒(méi)與噴射技術(shù)的濕法處理過(guò)程,及諸如基于化學(xué)氣相與等離子技術(shù)的干法處理過(guò)程。其中濕法處理過(guò)程是現(xiàn)有技術(shù)采用較為廣泛的方法,濕法處理過(guò)程通常包括采用適當(dāng)化學(xué)溶液浸沒(méi)半導(dǎo)體晶...
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