技術編號：7164484
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體制造領域，更具體地說，本發(fā)明涉及一種改善MOS器件載流子遷移率的方法、以及采用了該改善MOS器件載流子遷移率的方法的MOS器件制造方法。背景技術半導體制造行業(yè)一直致力于提高MOSFET (金屬-氧化層-半導體-場效晶體管， Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor，以下稱為 MOS 器件)載流子遷移率。當前，業(yè)界為改善 CMOS (Complementary Metal Oxide ...
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