技術(shù)編號(hào):7165363
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種由形成于玻璃襯底上的具有晶體結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體膜構(gòu)成的半導(dǎo)體器件,更具體地,本發(fā)明涉及一種用于通過(guò)光互連在相關(guān)器件中進(jìn)行信號(hào)傳輸?shù)陌雽?dǎo)體器件。背景技術(shù) 關(guān)于在絕緣襯底或絕緣膜上形成的薄膜晶體管(TFT),其特點(diǎn)在于與在硅晶片上形成的MOS(金屬氧化物半導(dǎo)體)晶體管的制造方法相比它的制造方法容易,并且可以利用大尺寸襯底以低成本制造它。特別地,關(guān)于用多晶硅膜形成其有源層的TFT(薄膜晶體管)(在此情況下為多晶TFT),由于它的遷移率與使用非晶硅的TFT...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。