技術(shù)編號(hào)：7167052
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及鍍膜技術(shù)，30納米磁性薄膜的制造技術(shù)。背景技術(shù) 隨著電子水表、電子煤氣表、熱量計(jì)走向市場(chǎng)，對(duì)微功耗磁傳感器的需求越來(lái)越迫切。然而，由于受各種條件的限制，在現(xiàn)有磁敏傳感器中，工作電流在10μA以下(5V下測(cè)得)的微功耗磁傳感器未見廠家生產(chǎn)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種30納米磁性薄膜的制造技術(shù)，用于制作微功耗磁傳感器。本發(fā)明的30納米磁性薄膜制造技術(shù)，利用真空蒸鍍的方法和無(wú)氧化結(jié)晶化處理工藝技術(shù)，其特征是選取高純度的Ni、Co，按1∶2.3的比例...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。