技術(shù)編號：7167128
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路制造工藝，尤其涉及一種手持式免充電吸筆。 背景技術(shù)伴隨集成電路制造工藝的不斷進(jìn)步，半導(dǎo)體制造自動(dòng)化程度越來越高，這使得絕大多數(shù)情況下硅片傳輸都是由機(jī)臺自動(dòng)進(jìn)行的。但是，對于一些小型的沒有自動(dòng)化生產(chǎn)線的公司以及一些高校和研究所的實(shí)驗(yàn)室里經(jīng)常需要人為手動(dòng)傳輸硅片。即便是自動(dòng)化程度高的大型公司，需要人為手動(dòng)傳輸和處理硅片的狀況也時(shí)有發(fā)生，一種情形是在進(jìn)行一些特殊工藝時(shí)，為了沾污控制，防止交叉污染，不能使用公用機(jī)臺進(jìn)行硅片傳輸，只能使用手動(dòng)方式來...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。