技術(shù)編號：7169208
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及玻璃基板等薄層基板的薄層基板制造方法，薄層基板移載裝置以及用于薄層基板移載的吸附墊。背景技術(shù) 一直以來，利用玻璃基板制造液晶模塊的技術(shù)為大家所熟悉，液晶模塊是通過在玻璃基板上形成構(gòu)成畫面的多個象素，和形成用于顯示動作的薄膜晶體管等而制造出來的。例如，在薄膜晶體管的制造工序中，不斷地重復(fù)進(jìn)行對玻璃基板涂敷導(dǎo)電材料的涂敷工序、對其上面涂敷作為感光材料的抗蝕劑的涂敷工序、用光掩模形成各層的電路圖形的曝光工序的、顯影工序、以及蝕刻工序，直至形成所需要的層...
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