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用于傳送襯底進(jìn)行鍵合的裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7170063

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本發(fā)明涉及一種用于傳送襯底的裝置,特別是涉及一種用于傳送襯底進(jìn)行鍵合應(yīng)用的裝置。背景技術(shù)在使用于半導(dǎo)體封裝件的裝配的導(dǎo)線或晶粒鍵合機(jī)中,用于安裝電子器件的襯底沿著襯底傳送裝置的傳送機(jī)構(gòu)(conveyor)被傳送和定位以進(jìn)行圖案識(shí)別、襯底定位和襯底上的導(dǎo)線或晶粒鍵合。傳送襯底的一種傳統(tǒng)方法是通過沿著引導(dǎo)軌道使用若干個(gè)定位器支撐襯底的方式。如圖IA至IC所示,襯底傳送裝置100應(yīng)用了傳統(tǒng)的移動(dòng)流程,其在兩個(gè)定位設(shè)備之間傳送襯底102。輸入定位器106和輸出定位...
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