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一種晶片研磨或切割用保護(hù)膠帶的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7171420

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本實(shí)用新型涉及一種晶片研磨或切割用的保護(hù)膠帶。 背景技術(shù)在半導(dǎo)體晶片的制造過(guò)程中,由于在進(jìn)行研磨或切割的過(guò)程中,會(huì)產(chǎn)生晶片的碎屑或微粒。因此,通常會(huì)在研磨程序或切割過(guò)程中,在晶片的表面粘接上一層用于研磨或切割的保護(hù)膠帶,以避免飛散的晶片碎屑或微粒,將研磨或切割后的晶片及芯片損傷或污染。在現(xiàn)有技術(shù)中,在進(jìn)行研磨(減薄)程序時(shí),一般利用藍(lán)色的研磨膠帶作為保護(hù)結(jié)構(gòu)。但是在現(xiàn)有技術(shù)中所使用的藍(lán)色研磨膠帶的缺點(diǎn)在于,這種研磨膠帶的基材強(qiáng)度較低, 因此在研磨過(guò)程中晶片...
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