技術(shù)編號：7172985
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種晶圓劈裂裝置，特別涉及一種應(yīng)用于晶圓劈裂作業(yè)的高速晶圓劈裂裝置。背景技術(shù)為使晶圓上的晶粒單元可被分割，以便后續(xù)的構(gòu)裝制程，通常是憑借晶圓劈裂機來執(zhí)行晶圓劈裂作業(yè)。目前現(xiàn)有的晶圓劈機主要是于機臺上裝設(shè)一晶圓劈裂裝置，所述晶圓劈裂裝置是于其基座上裝設(shè)一可上下位移的劈刀座，另于基座上裝設(shè)一伺服馬達(dá)，伺服馬達(dá)心軸組接樞設(shè)于基座上的螺桿，再以螺桿螺接劈刀座，劈刀座底端設(shè)有可為壓電元件式的劈裂致動器，再于劈裂致動器的作動端接設(shè)劈刀。前述晶圓劈裂機執(zhí)行...
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