技術編號：7177712
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及半導體，尤其涉及一種滑動傳感器的護殼結構。 背景技術在半導體工業(yè)的制程設備里，滑動傳感器作為一種檢測裝置被廣泛使用，在滑動傳感器的使用過程中，需要用到相關的護殼對其進行保護，從而避免外界的一些因素影響滑動傳感器的正常工作?，F(xiàn)有技術中的硅片加工機臺上設有一個滑動傳感器，該滑動傳感器位置正對硅片加工區(qū)。所述滑動傳感器的外側設有保護外殼，所述保護外殼包括用以收容滑動傳感器的收容槽、位于下方且朝向硅片加工區(qū)的完全開放式的底壁、與底壁相對且位于上方的頂...
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