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雙極晶體管的集電區(qū)和集電區(qū)埋層的制造工藝方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7180233

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本發(fā)明涉及一種雙極晶體管(BJT),特別是涉及一種雙極晶體管的集電區(qū)。 背景技術(shù)請參閱圖1,這是一個雙極晶體管。PNP雙極晶體管與NPN雙極晶體管的結(jié)構(gòu)相同, 只是各部分結(jié)構(gòu)的摻雜類型相反,下面以NPN雙極晶體管為例進行介紹。在ρ型硅片襯底 10之上具有一個η型重摻雜埋層11,η型重摻雜埋層11之上是η型外延層12 (摻雜濃度 比埋層11小,通常為中、低摻雜)。η型外延層12中有多個淺槽隔離(STI)結(jié)構(gòu)13a、13b、 13c、13d,這些淺槽隔離結(jié)構(gòu)的...
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