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半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7181780

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本發(fā)明涉及一種,尤其涉及雙擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體晶 體管及其制造方法,以同時(shí)提高擊穿電壓并降低導(dǎo)通電阻。背景技術(shù)在當(dāng)今的集成電路制造工藝中,已在單一芯片中大量地整合控制器、存儲(chǔ)器、低 電壓操作元件與高電壓功率元件等裝置,因而形成單一芯片系統(tǒng)。為了應(yīng)付高電壓與電 流的需求,電源裝置中通常應(yīng)用如雙擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管(double-diffused metal oxide semiconductor,DM0S)的高電壓裝置,其在高電壓下操作時(shí)具有較低的導(dǎo) ...
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