技術編號：7181862
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 相關申請的交叉引用 根據(jù)35U. S.C§ 119的規(guī)定，本美國非臨時專利申請要求于2008年11月27日提交的申請?zhí)枮?0-2008-0118516的韓國專利申請的優(yōu)先權，其全部內(nèi)容通過引用合并于此。背景技術在此公開的本發(fā)明涉及控制系統(tǒng)，尤其涉及使用用戶界面進行半導體制造裝置的控制、監(jiān)測與管理的系統(tǒng)與方法。 —般而言，生產(chǎn)半導體產(chǎn)品需要很多步加工工序。為了控制這些加工工序，就需要在生產(chǎn)線上構建各種半導體制造裝置。為了控制各種加工工序，半導體制造裝置擁有...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。