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一種電荷俘獲型非易失存儲器及其制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7182586

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本發(fā)明涉及納米電子器件及納米加工,尤其涉及一種采用能帶結(jié)構(gòu)漸變 的俘獲介質(zhì)層提高器件性能的電荷俘獲型非易失存儲器及其制作方法。背景技術(shù)非揮發(fā)性存儲器的主要特點是在不加電的情況下也能夠長期保持存儲的信息,它 既有只讀存儲器(ROM)的特點,又有很高的存取速度,而且易于擦除和重寫,功耗較小。隨 著多媒體應(yīng)用、移動通信等對大容量、低功耗存儲的需要,非揮發(fā)性存儲器,特別是閃速存 儲器(Flash),所占半導(dǎo)體器件的市場份額變得越來越大,成為一種非常重要的存儲器類 ...
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