技術(shù)編號：7183296
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及。 背景技術(shù)一直以來，具有用一對金屬膜夾持外延生長(印itaxial growth) 了的鋯鈦酸鉛 (PZT)膜的構(gòu)造的壓電元件是已知的。在像這樣的壓電元件的制造過程當中，包含有按順 序?qū)⒔饘倌ひ约癙ZT膜外延生長于基板來加工PZT膜的工序。一般來說，已知作為加工 PZT膜的方法是憑靠使用蝕刻液的濕式蝕刻的方法(例如特開2004-31521號公報、特開 2001-116943號公報以及美國專利4，759，823號說明書)。在特開2004-3152...
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