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技術(shù)編號：7183488

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本公開涉及背面照明圖像傳感器(back side illumination imagesensor)。 背景技術(shù)圖像傳感器是將光學(xué)圖像轉(zhuǎn)換成電信號的半導(dǎo)體器件，通常分為CCD(電荷耦合 器件)圖像傳感器或CMOS圖像傳感器(CIS)。 在相關(guān)技術(shù)CIS中，通過離子注入工藝將光電二極管沉積在襯底上。隨著光電二 極管尺寸逐漸減小以增加像素數(shù)量而不增大芯片尺寸，存在著照明(illumination)部分 面積減小導(dǎo)致的圖像質(zhì)量下降的增長趨勢。 此外，由于堆疊高度...
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