技術(shù)編號：7184788
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件，尤其涉及一種晶閘管的制造工藝。背景技術(shù)傳統(tǒng)焊接式晶閘管管芯的傳統(tǒng)制造工藝是采用"雙擴散_鍍鎳法"，通過將經(jīng)過硼 擴散(一次擴散)和磷擴散(二次擴散)的單晶硅片，表面進行化學(xué)鍍鎳，使之可以實現(xiàn) 可焊接的工藝特性，再通過搪鉛工藝，將單晶硅片與同樣經(jīng)過化學(xué)鍍鎳的鉬片焊接在一起， 在經(jīng)過常規(guī)的磨角、表面腐蝕等工藝處理后，形成可焊接的晶閘管管芯，僅僅適用于焊接式 晶閘管封裝制造，此法的優(yōu)點在于由于管芯中的核心部分抓單晶硅片，其表面經(jīng)過化學(xué)鍍...
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