技術(shù)編號：7187939
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種檢測基板上的被檢標(biāo)記的位置的標(biāo)記位置檢測裝置，特別是涉及一種適用于半導(dǎo)體元件等的制造工序中進(jìn)行高精度位置檢測的標(biāo)記位置檢測裝置。接下來，為了在形成于上述規(guī)定材料膜上的電路圖形上面形成另外的電路圖形，反復(fù)進(jìn)行相同的圖形形成工序。通過反復(fù)數(shù)次進(jìn)行圖形形成工序，各種材料膜的電路圖形被疊合在基板(半導(dǎo)體晶片或源極基板)上，從而形成半導(dǎo)體元件或液晶顯示元件的電路。但是，在上述制造工序中，為了高精度地疊合各種材料膜的電路圖形，在各個圖形形成工序中的曝光工...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。