技術(shù)編號：7204035
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及硅片生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒。 背景技術(shù)目前硅片在傳送過程中存在跑偏或者定位不準(zhǔn)確的情況，造成機(jī)械臂在放入硅 片盒時有偏差，而由于現(xiàn)采用的硅片盒尺寸較小，與硅片配合性高(多采用行業(yè)內(nèi)常用的 “125盒”)，機(jī)械臂微小的偏差將導(dǎo)致硅片不能準(zhǔn)確放入硅片盒中，而卡在硅片盒邊上，于是 在機(jī)械臂將硅片從緩存區(qū)中的硅片盒中提出時，卡在硅片盒邊上的硅片容易被壓傷，壓碎， 從而降低了成品率。發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是為了解決上述技術(shù)的不足而...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。