技術(shù)編號(hào)：7205618
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種感應(yīng)耦合型高頻天線及使用該高頻天線的基板表面處理裝置。 背景技術(shù)近年來，在真空容器內(nèi)配置高頻天線的內(nèi)置天線方式的等離子處理裝置被開發(fā)且 不斷實(shí)用化。在該離子處理裝置中，通過在高頻天線上流動(dòng)高頻電流而在高頻天線的周邊 形成感應(yīng)電場(chǎng)，從而在真空容器內(nèi)激發(fā)放電等離子。使用此放電等離子，可在被處理物體表 面上形成期望的薄膜，或蝕刻處理被處理物體表面。在內(nèi)置天線方式的等離子處理裝置中，因?yàn)樵诟哳l天線及放電等離子之間形成靜 電場(chǎng)，在高頻天線中對(duì)于等離子產(chǎn)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。