技術(shù)編號：7206164
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及功率分配器并且特別涉及用于差動功率分配的功率分配器。在第一方 案中，本發(fā)明提供寬帶無源的N分功率分配器，其可以有利地用于給等離子體源中的多個 電極提供功率。背景技術(shù)為了利用單個RF(射頻)功率源來給等離子體源中的多個電極供應(yīng)能量，需要將 功率分配到多個通道內(nèi)。在交流電極相互180度異相的等離子體源拓?fù)淝闆r中(如PCT/ EP2006/062261中所述，該申請內(nèi)容通過引用合并于此)，每個電極可以與其相鄰電極異 相，這樣，能夠提供推挽對(push-...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。