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薄膜晶體管及其制造方法技術資料下載

技術編號:7206268

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本發(fā)明涉及、以及使用該薄膜晶體管的半導體裝置及顯 示裝置。背景技術薄膜晶體管(以下也稱為“TFT”)已在液晶顯示器的中被廣泛地應用。 TFT是一種場效應晶體管,它是根據形成溝道的半導體膜很薄的事實來命名的?,F(xiàn)在,使用 非晶硅或多晶硅作為該半導體薄膜來制造TFT的技術已被付諸應用。長期以來,與非晶硅或多晶硅相同,被稱為“微晶硅“的半導體材料是公知的, 并且也存在關于與場效應晶體管有關的微晶硅的報告(例如,參照專利文獻1 美國專利 No. 5,591,987)...
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