技術(shù)編號：7207757
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及能夠根據(jù)構(gòu)成處理裝置的可動部件動作時的振動來監(jiān)視該可動部件 的動作的處理裝置的動作監(jiān)視系統(tǒng)。背景技術(shù)以往，作為在基板上連續(xù)實施成膜處理或蝕刻處理等各種處理的裝置，已知有如 圖ι所示那樣構(gòu)成的處理裝置(即所說的組合設(shè)備裝置)，即經(jīng)由閘閥El E4，以包圍配 置有自動輸送裝置A的中央的輸送室B的方式來配置基板S的真空進(jìn)樣室C和多個處理室 Dl D3，在各處理室D或者各處理室D的相互間輸送由自動輸送裝置A投入到真空進(jìn)樣室 C的基板S。在這種處理裝置中，...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。