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堆疊集成電路的腐蝕控制的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7207761

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本發(fā)明涉及集成電路(IC),且更特定來(lái)說(shuō)涉及多層IC,且更加特定來(lái)說(shuō)涉及用于 控制層之間的腐蝕的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)IC技術(shù)中需要將芯片(裸片)堆疊在一起以形成多層(3-D) IC裝置。一種形成 3-D裝置的方法是將兩個(gè)(或兩個(gè)以上)層集中到一起且接著將所述層囊封入單一結(jié)構(gòu)中。 相應(yīng)層的表面上的電導(dǎo)體和/或接觸件用于在不同層上的電路之間載運(yùn)電信號(hào)。這些導(dǎo)體 /接觸件極小,直徑約為幾微米,且在暴露于腐蝕性氣氛時(shí)將相對(duì)快速地腐蝕。腐蝕接著干 擾3D裝置的信號(hào)處...
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