技術(shù)編號：7207835
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。,制備方法和液體排出裝置的制作方法本發(fā)明涉及一種及其制備方法，以及一種液體排出裝置。 背景技術(shù)使用具有壓電性的壓電體的被用作安裝在噴墨記錄頭、傳感器、存儲器 件等上的致動器，其中，所述壓電體根據(jù)所施加的電場強度的增加/降低而伸展/收縮。近 年來，在朝器件的高密度和高集成的趨勢中，的膜厚度的減小已經(jīng)向前發(fā)展，并且 使用具有高壓電性的壓電膜的的開發(fā)已經(jīng)取得了進展。至于具有高壓電性的壓電膜，含有1 的鈣鈦礦氧化物膜比如PZTOn3 (Zr，Ti) O3 鋯鈦酸...
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