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腔室等離子清潔制程方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7207863

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本發(fā)明的實(shí)施例屬于半導(dǎo)體制程領(lǐng)域,且特別是半導(dǎo)體制程設(shè)備的清潔方法。 背景技術(shù)在過(guò)去數(shù)十年間,集成電路中的特征的大小變化已經(jīng)成為逐漸成長(zhǎng)的半導(dǎo)體業(yè)的 驅(qū)動(dòng)力。改變?yōu)樵絹?lái)越小的特征可在半導(dǎo)體芯片的有限土地(real estate)上增加功能單 元的密度。舉例而言,縮減晶體管尺寸可在芯片上并入較多數(shù)量的內(nèi)存或邏輯裝置,使產(chǎn)品 制造具有較高產(chǎn)量。然而,逐增的產(chǎn)量并非沒(méi)有問(wèn)題的。對(duì)于組件之間臨界尺寸變化的容 限度已變得非常受限了。因此,在用于制造裝置的制程步驟中的...
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