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肖特基勢(shì)壘二極管和制造肖特基勢(shì)壘二極管的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7207922

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本發(fā)明涉及一種。例如,本發(fā) 明涉及一種具有增強(qiáng)耐受電壓的肖特基勢(shì)壘二極管和制造這種肖特基勢(shì)壘二極管的方法。背景技術(shù)氮化鎵(GaN)具有各種優(yōu)良的性質(zhì),諸如是硅(Si)帶隙大約三倍大的帶隙、是硅 (Si)的擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度大約十倍大的擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度、以及比硅(Si)的飽和電子速度更高的 飽和電子速度。至于GaN,實(shí)現(xiàn)了在常規(guī)Si功率器件中難以實(shí)現(xiàn)的高耐受電壓和低損耗,也 就是說(shuō),可以期望低導(dǎo)通電阻,并且由此,期望將GaN應(yīng)用到功率器件(功率半導(dǎo)體元件), 諸如肖特...
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