技術(shù)編號(hào)：7209054
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的實(shí)施例一般而言是關(guān)于半導(dǎo)體處理設(shè)備，且更特定言，是關(guān)于與此設(shè)備的處理控制器建立接口(interfacing)。背景技術(shù)隨著技術(shù)進(jìn)步，需要升級(jí)陳舊設(shè)備以提供更快、更佳且更可靠的操作。然而，設(shè)備的升級(jí)通常以操作環(huán)境必需重新構(gòu)造為代價(jià)。通常，改變操作環(huán)境并不可取，因?yàn)楦淖儗?duì)整體任務(wù)至關(guān)重要的系統(tǒng)組件將存在必然風(fēng)險(xiǎn)。此危險(xiǎn)在半導(dǎo)體處理領(lǐng)域尤其明顯，其中微小改變亦可能攪亂經(jīng)仔細(xì)構(gòu)造的系統(tǒng)，從而導(dǎo)致產(chǎn)量減少及其它制造缺陷。此風(fēng)險(xiǎn)導(dǎo)致許多終端使用者對(duì)升級(jí)其系統(tǒng)仍...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。