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技術(shù)編號：7209441

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本發(fā)明大體來說涉及集成電路制作，且更特定來說涉及掩蔽技術(shù)。 背景技術(shù)由于許多因素(包含對增加的便攜性、計(jì)算能力、存儲器容量及能量效率的需求)，正在不斷地使集成電路更密集。正在不斷地減小形成集成電路的構(gòu)成特征(例如，電裝置及互連線)的大小以促進(jìn)此按比例縮放。例如在存儲器電路或裝置(例如動態(tài)隨機(jī)存取存儲器(DRAM)、快閃存儲器、靜態(tài)隨機(jī)存取存儲器(SRAM)、鐵電(FE)存儲器等)中，減小特征大小的趨勢是明顯的。舉一個實(shí)例來說，DRAM通常包括數(shù)百萬個稱作存...
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