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放射線檢測器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7210646

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本發(fā)明涉及一種エ業(yè)用或醫(yī)用的放射線檢測器,特別是涉及ー種將放射線直接轉(zhuǎn)換為載流子的放射線檢測器的構(gòu)造。背景技術(shù)以往的直接轉(zhuǎn)換型的放射線檢測器為以下結(jié)構(gòu)對形成在放射線感應(yīng)型的半導(dǎo)體層的表面上的共用電極施加規(guī)定的偏壓,并且利用形成在半導(dǎo)體層的背面的載流子收集電極收集隨著放射線(X射線等)的照射而生成的載流子,并作為放射線檢測信號取出,從而進行放射線的檢測。特別是作為半導(dǎo)體層使用像a-k (無定形硒)這樣的無定形半導(dǎo)體層的情況下, 無定形半導(dǎo)體通過真空蒸鍍等方法...
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