技術(shù)編號：72108
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及平版印刷投射設(shè)備，包括-用于供給輻射投射束的輻射系統(tǒng)；-用于支撐圖案形成裝置的支撐結(jié)構(gòu)，根據(jù)所要求的圖案所述圖案形成裝置可用來對投射束形成圖案；-用于支持基片的基片臺；以及-用于將已形成圖案的束投射到所述基片的目標部的投射系統(tǒng)。 背景技術(shù)在此所應(yīng)用的術(shù)語“圖案形成裝置”應(yīng)該被廣泛地解釋成涉及這樣的裝置，對應(yīng)于即將在所述基片目標部要建立的圖案，所述裝置可以用來給進入輻射束賦予一個已形成圖案的橫斷面；術(shù)語“光閥”也可以用在此上下文中?？傮w上，所述圖案將對應(yīng)于在即將在所述目標部被建立的器件，如集成電路...
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