技術(shù)編號：7211157
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 關(guān)于一種使用在集成電路生產(chǎn)中的晶圓定位偏移的糾正方法。 背景技術(shù) 在集成電路生產(chǎn)中，晶圓的定位是必不可少的。因為，不管是檢測缺陷，還是對晶圓的圖案進行觀察，還是對晶圓進行實驗等等，都需要在晶圓上某個特殊的結(jié)構(gòu)上進行，這就要求光學(xué)顯微鏡鏡頭、探針以及其他的操作工具能夠精確定位在相應(yīng)的結(jié)構(gòu)上，而這些定位的前提是，機臺已經(jīng)對待操作的晶圓進行了一個精確的定位，即能夠確定待測試或者待實驗的結(jié)構(gòu)在晶圓上的精確位置。 現(xiàn)有的定位方式，通常是機臺中記錄有一個晶圓的地...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。