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硅基高效等電子摻雜發(fā)光器件及制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7211673

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本發(fā)明涉及一種硅基高效等電子摻雜發(fā)光器件及制作方 法,特別涉及一種硫族元素(硫、硒、碲)和過渡金屬元素(銅、 銀、金)共摻的硅基高效等電子摻雜發(fā)光器件及其制作方法。背景技術(shù)隨著超大規(guī)模集成電路工藝的發(fā)展,芯片的集成度越來越 高。人們的生活、生產(chǎn)和國(guó)防等方方面面要求越來越快的集成電路芯片運(yùn)算速度。但是由于最近2 O年來集成電路工藝線寬 的急劇減小,單個(gè)M0S (金屬-氧化物-半導(dǎo)體)晶體管的運(yùn)算 速度越來越快,靠改善單個(gè)晶體管的運(yùn)算速度來提高集成電路 芯片的...
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