技術(shù)編號(hào)：7212393
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種形成分柵(split gate)型浮柵存儲(chǔ)單元的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列的自對(duì)準(zhǔn)方法。本發(fā)明還涉及一種上述類型的浮柵存儲(chǔ)單元的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器陣列。制造半導(dǎo)體浮柵存儲(chǔ)單元陣列所面臨的其中一個(gè)問題是各個(gè)部件(諸如源極、漏極、控制柵、浮柵)的對(duì)準(zhǔn)，特別是隨著存儲(chǔ)單元的尺寸的減小，這個(gè)問題就更明顯。隨著整體半導(dǎo)體工藝的設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)的降低，減小了最小的平板印刷要素(部件)，對(duì)精確對(duì)準(zhǔn)的需求變得更重要了。各部件的對(duì)準(zhǔn)同樣決定著半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造合格率。自對(duì)準(zhǔn)(self-...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。