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技術(shù)編號(hào)：7212829

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本發(fā)明是有關(guān)于一種薄膜晶體管及其有源層的制作方法，且特別是有關(guān) 于一種可直接在大氣下進(jìn)行的薄膜晶體管的有源層的制作方法、具有此種有 源層的薄膜晶體管與液晶顯示器。背景技術(shù)非晶硅薄膜晶體管(Amorphous Silicon Transistor)及多晶硅薄膜晶體管(Low Temperature Polycrystalline Transistor)是現(xiàn)在有源矩陣式平面顯示器中薄膜晶體管的主流技術(shù)，但由于工藝中需要真空鍍膜及黃光工藝，故在設(shè)備、 材料及工藝...
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